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本发明公开了一种带有超导磁体的等离子体CVD装置腔体的顶部设有超导磁体，超导磁体包括与变频电源相连的超导线圈及低温装置，超导线圈的上端呈圆筒形，下端向外扩展形成上小下大的喇叭形，腔体与超导磁体之间设有绝缘顶板；腔体内设有基材台，基材台与腔体...
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