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本实用新型涉及晶圆生产设备技术领域，具体是一种用于晶圆生产的背检平台，所述工作平台的顶部中心处固接有检测台，且工作平台的顶部端面固定连接有四个支柱，所述支柱的顶端与固定架的底端固接，所述固定架的顶部两侧对称固接有两个安装架，两个所述安装架的...
该专利属于深圳市新晶路电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市新晶路电子科技有限公司授权不得商用。

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