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一种改善SIC器件界面特征的方法，包括以下步骤：S1、把SiC元件装夹在打磨清洗机的元件台上，控制打磨清洗机根据需要的形状尺寸把SiC元件进行切割；S2、把切割好的SiC元件取出进行加热氧化使其表面形成一层氧化膜；S3、将加热氧化后的SiC...
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