下载一种具有光吸收增强作用的氧化镓日盲光电探测器结构及其制备方法的技术资料

文档序号:36702335

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本发明涉及一种具有光吸收增强作用的氧化镓纳米孔阵列日盲光电探测器结构及其制备方法,由下自上依次包括绝缘衬底、氧化镓薄膜、纳米孔阵列以及金属电极。本发明通过在氧化镓薄膜表面构建纳米孔阵列结构,使得光在表面孔结构中进行多次反射,增强了光的反射次...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。

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