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本实用新型的实施例提供了一种化学药剂回收装置，包括：第一液体回收环以及环绕第一液体回收环外侧的第二液体回收环，第一液体回收环的底部具有第一排液口，第二液体回收环的底部具有第二排液口；以及第一液体收集区和第二液体区，分别收集来自第一排液口和第...
该专利属于日月光半导体制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日月光半导体制造股份有限公司授权不得商用。

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