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公开一种基板处理装置和基板处理方法以及静电卡盘制造方法。提供一种静电卡盘，包括：卡盘部件，支承基板并至少一个销孔在上下方向上贯通，并且提升销能够升降地容纳于所述销孔；以及膨胀部件，提供于所述销孔的内周并能够膨胀，并且具有膨胀时与容纳于所述销...
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