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本发明公开了一种多模式低温等离子体金属表面薄膜沉积装置及方法，一种多模式低温等离子体金属表面薄膜沉积装置，包括同步传送机构、多组第一处理组件和第二处理组件，所述第一处理组件包括两个直接介质阻挡放电组件，所述第二处理组件包括两个间接介质阻挡放...
该专利属于南京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京工业大学授权不得商用。

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