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一种半导体结构的形成方法,包括:提供基底,基底上形成有栅极材料层,基底包括用于形成第一晶体管的第一器件区、用于形成第二晶体管的第二器件区,第一晶体管的沟道长度大于第二晶体管的沟道长度;在第一器件区的栅极材料层上形成分立的初始掩膜层;形成初始...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构的形成方法,包括:提供基底,基底上形成有栅极材料层,基底包括用于形成第一晶体管的第一器件区、用于形成第二晶体管的第二器件区,第一晶体管的沟道长度大于第二晶体管的沟道长度;在第一器件区的栅极材料层上形成分立的初始掩膜层;形成初始...