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本发明公开了一种晶圆双面刷洗装置，包括容器框架，容器框架上设置有圆周旋转装置、吹气清洗装置和检测装置，所述容器框架的一侧设置有毛刷清洗装置，所述毛刷清洗装置包括固定设置于晶圆下方的下部清理毛刷和移动设置于晶圆上方的上部清理毛刷，所述下部清理...
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