下载一种滤波器以及滤波器的制备方法的技术资料

文档序号:36694550

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本申请提供了一种滤波器以及滤波器的制备方法。该滤波器包括:衬底、位于衬底上的至少一个谐振器和至少一个连接点;谐振器包括下电极、压电层和上电极的叠层,至少一个谐振器还包括调整结构,调整结构位于谐振器的下电极远离衬底的一侧;连接点包括第一导电层...
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