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本发明公开了一种电阻测试结构及电阻测试方法。所述电阻测试结构包括：多个第一测试模块；每一所述第一测试模块包括：形成于同一半导体器件有源区之上的两个间隔设置的第一接触结构和第二接触结构；相邻两所述第一测试模块中一第一测试模块的第一接触结构与另...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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