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本实用新型公开了一种晶圆托盘和一种晶圆加工设备。该圆托盘包括：托盘本体，以其正面承载晶圆，并开设有通孔；顶针，设于该托盘本体的背面，其第一端设有限位部，而其第二端支持经由该通孔沿该托盘本体的轴向位移，并越过该托盘本体的正面，以顶起该托盘本体...
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