下载一种氦气低温纯化系统的技术资料

文档序号:36692702

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本实用新型属于气体纯化技术领域,提供了一种氦气低温纯化系统,该系统包括顺次连接的原料气体供给装置、预冷换热器、纯化装置,压缩装置和充装装置,其中所述纯化装置包括四级回热换热器,采用四级回热换热器能够在降低漏热损失的同时回收冷量,减少对制冷机...
该专利属于山东非金属材料研究所所有,仅供学习研究参考,未经过山东非金属材料研究所授权不得商用。

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