一种氦气低温纯化系统技术方案

本实用新型专利技术属于气体纯化技术领域，提供了一种氦气低温纯化系统，该系统包括顺次连接的原料气体供给装置、预冷换热器、纯化装置，压缩装置和充装装置，其中所述纯化装置包括四级回热换热器，采用四级回热换热器能够在降低漏热损失的同时回收冷量，减少对制冷机的冷量需求，冷量仅仅需要克服杂质从室温到冻除温度的焓差和动能损失、换热器的换热不完全损失以及系统的漏热，采用该装置可以将原料氦气经预冷换热及四级纯化后获得电子级纯度氦气，降低了成本，提高了纯度。提高了纯度。提高了纯度。

【技术实现步骤摘要】
一种氦气低温纯化系统


[0001]本技术属于气体纯化
，提供了一种氦气低温纯化系统。

技术介绍

[0002]氦气是天然资源，同时也是不可再生的稀缺性战略资源，在卫星飞船发射、导弹武器工业、飞艇等浮空器、低温超导研究、半导体生产、核磁共振成像、特种金属冶炼及气体检漏等方面具有重要的用途。例如，在半导体器件的制造过程中，氦气是不可或缺的重要气体，半导体器件性能的好坏，在很大程度上取决于氦气的纯度。氦气纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体器件质的飞跃。在集成电路的刻蚀和清洗过程中，氦气中百万分之几的微量杂质气体进入工序就能导致质量下降，使每个元件的信息量减少，从而使高密度集成电路产品的不合格率增加。
[0003]如何深度纯化氦气，不断提高氦气纯度是业内追求的目标，尤其是如何简单易行地获得电子级纯度(纯度不低于99.9999％)的氦气一直是困扰业界的难题。依靠传统的精馏、吸附为主的气体分离提纯技术很难使氦气的纯度达到电子级别，并且传统工艺在充装、储存、输送过程中，也容易引入杂质，导致气体纯度降低。
[0004]低温纯化技术为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氦气低温纯化系统，其特征在于，包含顺次连接的原料气体供给装置(1)、预冷换热器(2)、纯化装置(3)，压缩装置(4)和充装装置(6)；其中所述的纯化装置(3)由串联的第一级回热换热器(31)、第二级回热换热器(32)、第三级回热换热器(33)和第四级回热换热器(34)组成；所述的压缩装置(4)包括顺次连接的膜压机(41)、初级过滤器(42)和精密过滤器(43)；所述的充装装置(6)包括产品气体瓶(61)、以及与产品气体瓶(61)并联的回收气袋(62)、回收压缩机(63)和氦气回收瓶(64)。2.根据权利要求1所述氦气低温纯化系统，其特征在于，该系统还设置有再生装置(7)，其出口通过管路连接在预冷换热器(2)入口上。3.根据权利要求1所述氦气低温纯化系统，其特征在于，在压缩装置(4)和充装装置(6)之间的管路上还连接有分析仪(5)。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱天一，许峰，冀方，荀其宁，刘霞，张文申，董雅卓，侯倩倩，冯典英，宋磊，王鹏，
申请(专利权)人：山东非金属材料研究所，
类型：新型
国别省市：