下载一种镁银合金和镱金属清洗剂及清洗方法的技术资料

文档序号:36690112

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本发明公开了一种镁银合金和镱金属清洗剂及清洗方法,开发了一款在较低的成本下,可以高效的溶解Mask、坩埚上残留的镁银合金、镱等金属,同时不对Mask等基底产生损失,且减少沉淀产生的金属清洗剂。该清洗剂由2
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