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本发明公开了一种具有回扫特征静电防护机构关键参数的测试装置和方法。Pwell区域、Nc缓变电容区域、Nr电阻区域、重掺杂N++、重掺杂N++、Psw区域、反型氧化层上电极以及金属连接一同构成的具有回扫特征静电防护机构关键参数的测试装置的主体...
该专利属于江苏庆延微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏庆延微电子有限公司授权不得商用。

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