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本申请公开了电极馈入装置和化学沉积设备，电极馈入装置包括电极导杆、电极块和载片舟。电极块设置于电极导杆上。载片舟具有舟脚，舟脚与电极块抵接，以将二者电性连接。其中，电极块和舟脚的至少其中一者设置有阻挡部，用于阻挡工艺气体进入舟脚与电极块之间...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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