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本发明提供一种用于不仅相对于硅氧化物膜而且相对于非晶硅膜或多晶硅膜也选择性地研磨氮化硅膜的研磨粒或化学机械研磨用组合物。本发明的研磨粒的制造方法包括：第一步骤，对混合物进行加热，所述混合物含有氢硫基(
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