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本发明涉及一种用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备，该用于成像系统中图像采集的控制方法包括：通过标准测试硅片标定运动台在运动过程中的位置偏差，标准测试硅片包括若干对称分布的标记且其中一个标记位于标准测试硅片的中心位置；通过光栅...
该专利属于上海精积微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精积微半导体技术有限公司授权不得商用。

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