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本实用新型属于减薄机对中心技术领域，公开了一种减薄机用对中心机构，上板，上板用于承载硅片，上板上环形阵列设置有滑槽，所有的滑槽所在的直线相交组成规则的多边形，上板上设置有吸盘；定位组件，定位组件包括转轮连杆，转轮连杆上设置有套轴，套轴滑动设...
该专利属于海南千鼎信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海南千鼎信息科技有限公司授权不得商用。

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