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本发明公开了一种纳米管材料的气体传感器的制备方法，属于气体传感器技术领域，包括如下步骤：将表面覆盖有纳米SiO2的硅晶片进行预处理，在预处理后的硅晶片表面旋涂正性光刻胶；在光刻后的硅晶片表面依次蒸镀20nm铬膜和180nm金膜；将热处理后的...
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