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本发明涉及一种防止背崩的LED芯片切割方法。所述方法包括步骤:(1)贴膜;(2)切割;(3)微扩膜与缩膜;(4)压膜;(5)扣膜;(6)扩膜,完成切割。本发明改善了常规化芯片切割工艺,添加了预切割、微扩膜、缩膜、压膜和扣膜步骤,将应力分段传...该专利属于山东浪潮华光光电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东浪潮华光光电子股份有限公司授权不得商用。
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