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本实用新型提供了一种由废氢氟酸制备电子级氢氟酸的精馏装置，装置结构简单，设计科学合理，节能降耗、有效解决行业内低浓度氢氟酸处理难题。其包括本体支架和若干连接管，本体支架上安装汽化装置，汽化装置上端与精馏装置的进口连接，精馏装置顶部出口处连接...
该专利属于深圳市超纯环保股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市超纯环保股份有限公司授权不得商用。

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