下载复合基板及复合基板的制造方法的技术资料

文档序号:36655342

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本发明提供能够有助于SAW滤波器的高性能化的复合基板。本发明的实施方式所涉及的复合基板具有:支撑基板、以及在所述支撑基板的单侧所配置的压电层,所述支撑基板的形状的空间频率超过0.045cyc/mm的起伏的振幅为10nm以下。所述压电层的第一...
该专利属于日本碍子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

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