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公开了晶体管器件以及用于生产晶体管器件的方法。晶体管器件包括:SiC半导体本体(100),其包括第一半导体层(110);多个沟槽(2),每个沟槽从第一半导体层(110)的第一表面(111)延伸到第一半导体层(110)中;以及多个晶体管单元(...
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