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提供一种能够充分地抑制向腔室的热传导并抑制应力的发生的反射器单元及成膜装置。反射器单元具备：圆筒状的第1反射器零件，在外周侧设有用来被成膜腔室支承的第1卡合部，在内周侧设有第1搭载部；以及圆筒状的第2反射器零件，配置在第1反射器零件的内侧，...
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