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本公开提供了一种蒸发装置及真空蒸镀系统，蒸发装置包括：基座；蒸发源支架，设置在基座上，蒸发源支架包括至少一个承载单元，用于承载至少一种蒸发材料；电子束发射器，设置在基座上，包括：发射丝，用于发射电子；第一电极，与发射丝的一端连接，用于与第一...
该专利属于费勉仪器科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过费勉仪器科技（上海）有限公司授权不得商用。

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