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一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置制造方法及图纸
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下载一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置的技术资料
文档序号:36637601
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本实用新型提供了一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置,包括一蚀刻室、一药液槽、两个单酸槽及一控制装置;蚀刻室顶部连通设有粗排气管路和细排气管路,粗排气管路上设有第一调节阀,细排气管路上设有第二调节阀;药液槽通过喷洒管路连通蚀刻室,喷洒管路...
该专利属于福建华佳彩有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建华佳彩有限公司授权不得商用。
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