一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置，包括一蚀刻室、一药液槽、两个单酸槽及一控制装置；蚀刻室顶部连通设有粗排气管路和细排气管路，粗排气管路上设有第一调节阀，细排气管路上设有第二调节阀；药液槽通过喷洒管路连通蚀刻室，喷洒管路上设有一泵体，药液槽与蚀刻室之间设有一回流管路和一排气管路，排气管路上设有第三调节阀；控制装置包括浓度控制装置和取样检测装置，取样检测装置通过取样管路连接药液槽，浓度控制装置通过取样检测装置量测结果进行调节单酸槽对药液槽的药液补给量。本实用新型专利技术结构简单，操作方便，可调节各单元酸气平衡，降低各单酸的抽气量，使三酸浓度更加平稳，且可降低单酸补给量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置


[0001]本技术涉及一种蚀刻机，尤其是一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置。

技术介绍

[0002]现有技术一般采用浸渍法和喷淋法来加工制造液晶显示器的玻璃基板，喷淋法是玻璃基板在蚀刻机内蚀刻，通过泵抽取药液，形成一定的喷淋压力对产品进行喷淋蚀刻，而蚀刻的过程中硝酸和醋酸还会随着蚀刻室的排气而挥发，因此，混酸溶液当中硝酸、磷酸和醋酸的浓度均会不断变化，蚀刻速度也随之变化，因此定时引取药液样品对当中的硝酸、磷酸和醋酸的含量进行滴定量测，并记录三酸浓度的波动值，通过浓度控制装置对所需单酸进行补充使酸浓度稳定。因玻璃基板在蚀刻室中进行蚀刻，为了平衡蚀刻室气流流场设置了排气管，但是现有排气管较大，排气量大，无法做到精细排气，使得药液中酸浓度的含量波动均在
±
10％至
±
5％之间，其波动范围较大，使得蚀刻产品的特性值稳定度不佳，且补充的单酸用量高。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题，在于提供了一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置，其结构简单，操作方便，可调节各单元酸气平衡，降低各单酸的抽气量，使三酸浓度更加平稳，且可降低单酸补给量。
[0004]本技术是这样实现的：一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置，包括一蚀刻室、一药液槽、两个单酸槽(分别为硝酸槽和醋酸槽)及一控制装置；所述蚀刻室顶部连通设有粗排气管路和细排气管路，所述粗排气管路和所述细排气管路均连通一抽气管路，所述粗排气管路上设有第一调节阀，所述细排气管路上设有第二调节阀；所述药液槽通过喷洒管路连通所述蚀刻室，所述喷洒管路上设有一泵体，所述药液槽与所述蚀刻室之间设有一回流管路和一排气管路，所述排气管路上设有第三调节阀；两个所述单酸槽通过补给管路与所述药液槽连接；所述控制装置包括取样检测装置和浓度控制装置，所述取样检测装置通过取样管路连接所述药液槽，所述浓度控制装置通过取样检测装置量测结果进行调节所述单酸槽对所述药液槽的药液补给量。
[0005]进一步的，所述蚀刻室的前端设有干燥单元，所述蚀刻室的末端设有水洗单元，所述干燥单元和水洗单元与所述蚀刻室之间分别设有一隔离单元。
[0006]进一步的，所述药液槽设有两个，分别连接所述泵体，所述药液槽分别与所述蚀刻室之间连接有回流管路。
[0007]本技术的优点在于：通过在蚀刻室的顶部增加所述细排气管及第二调节阀，能够更加精细的调节排气量，使蚀刻室内的酸气浓度更加平稳；通过在所述药液槽与所述蚀刻室之间的排气管路上设置第三调节阀，可控制药液槽内的药液挥发与腔压平衡，通过选取第二调节阀和第三调节阀的最优开度，可降低各单酸的抽气量，使三酸浓度更加平稳，
波动范围下降到
±
3％，酸浓度控制平稳，相应单酸补给量也稳定，酸的使用周期也可以得到提升，可以实现节能减排成效。本技术在于提供了一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置，其结构简单，操作方便，可调节各单元酸气平衡，降低各单酸的抽气量，使三酸浓度更加平稳，且可降低单酸补给量。
附图说明
[0008]下面参照附图结合实施例对本技术作进一步的说明。
[0009]图1为本技术一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置的结构示意图。
[0010]图2为本技术实施例一的结构示意图。
[0011]图3为本技术改善前后药液槽内硝酸、醋酸和磷酸浓度对比图。
[0012]图4为本技术改善前后硝酸、醋酸和磷酸用量对比图。
[0013]图5为本技术实施例二的结构示意图。
[0014]附图标号说明：蚀刻室1、粗排气管路11、第一调节阀111、细排气管路12、第二调节阀121、抽气管路13、药液槽2、喷洒管路21、泵体22、回流管路23、排气管路24、第三调节阀241、单酸槽3、补给管路31、控制装置4、取样检测装置41、取样管路411、浓度控制装置42。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]实施例一
[0017]请参阅图1至图4所示，本技术一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置，包括一蚀刻室1、一药液槽2、两个单酸槽3及一控制装置4；所述蚀刻室1所述蚀刻室的前端设有干燥单元(未图示)，所述蚀刻室的末端设有水洗单元(未图示)，所述干燥单元和水洗单元与所述蚀刻室之间分别设有一隔离单元(未图示)，通过设置隔离单元可防止干燥单元和水洗单元与所述蚀刻室之间交叉影响。所述蚀刻室1顶部连通设有粗排气管路11和细排气管路12，所述粗排气管路11和所述细排气管路12均连通一抽气管路13，所述粗排气管路11上设有第一调节阀111，所述细排气管路12上设有第二调节阀121，可实现精细排气，使药液中的酸浓度控制平稳；所述药液槽2通过喷洒管路21连通所述蚀刻室1，所述喷洒管路21上设有一泵体22，所述药液槽2与所述蚀刻室1之间还设有一回流管路23和一排气管路24，所述排气管路24上设有第三调节阀241，可控制药液槽2内的药液挥发与腔压平衡；两个所述单酸槽3通过补给管路31与所述药液槽2连接；所述控制装置4包括取样检测装置41和浓度控制装置42，所述取样检测装置41通过取样管路411连接所述药液槽2，所述浓度控制装置42通过取样检测装置41量测结果进行调节所述单酸槽3对所述药液槽2的药液补给量。
[0018]优选的，所述蚀刻室1分为三个蚀刻单元，分别为蚀刻单元一、蚀刻单元二和蚀刻单元三，每一蚀刻单元均设有一泵体22，分别给蚀刻单元一、蚀刻单元二和蚀刻单元三供给浸泡及喷淋药液，每一所述蚀刻单元的上方均设有所述粗排气管路11和所述细排气管路12。
[0019]工作原理：玻璃基板从干燥单元进入蚀刻室1，然后通过泵体22从药液槽2内抽取
药液，形成一定的喷淋压力，利用喷嘴对玻璃基板进行喷淋蚀刻，蚀刻室1内的压力通常被保持为比蚀刻室1外的压力低，通过设置抽气管路13对粗排气管路11和细排气管路12进行抽气，通过调节第一调节阀111和第二调节阀121可控制抽气量，蚀刻的过程中硝酸和醋酸还会随着蚀刻室1的抽气而挥发，因此，药液当中硝酸、醋酸和磷酸的浓度均会不断变化，蚀刻速度也随之变化，因此取样检测装置41定时通过取样管路411对药液槽2内的药液中的硝酸、磷酸和醋酸的含量进行自动滴定量测，并记录三酸浓度的波动值，如果数值低于预设值，则浓度控制装置42控制单酸槽3内的单酸通过补给管路31对药液槽2内进行药液量补充，使酸浓度稳定。如图3所示，图3中(a)为三酸浓度改善前浓度波动图，(b)为三酸浓度改善后浓度波动图。如图4所示，图4中(a1)为改善前硝酸的用量图，(a2)为改善后硝酸的用量图；(b1)为改善前醋酸的用量图，(b2)为改善后醋酸的用量图；(c本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置，其特征在于：包括一蚀刻室，其顶部连通设有粗排气管路和细排气管路，所述粗排气管路和所述细排气管路均连通一抽气管路，所述粗排气管路上设有第一调节阀，所述细排气管路上设有第二调节阀；一药液槽，通过喷洒管路连通所述蚀刻室，所述喷洒管路上设有一泵体，所述药液槽与所述蚀刻室之间设有一回流管路和一排气管路，所述排气管路上设有第三调节阀；两个单酸槽，分别通过补给管路与所述药液槽连接；一控制装置，包括取样检测装置和浓度控制装置，所述取样检测装置通...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟水金，温笑群，赵赞，吾继明，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：