一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置，包括一蚀刻室、一药液槽、两个单酸槽及一控制装置；蚀刻室顶部连通设有粗排气管路和细排气管路，粗排气管路上设有第一调节阀，细排气管路上设有第二调节阀；药液槽通过喷洒管路连通蚀刻室，喷洒管路上设有一泵体，药液槽与蚀刻室之间设有一回流管路和一排气管路，排气管路上设有第三调节阀；控制装置包括浓度控制装置和取样检测装置，取样检测装置通过取样管路连接药液槽，浓度控制装置通过取样检测装置量测结果进行调节单酸槽对药液槽的药液补给量。本实用新型专利技术结构简单，操作方便，可调节各单元酸气平衡，降低各单酸的抽气量，使三酸浓度更加平稳，且可降低单酸补给量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置


[0001]本技术涉及一种蚀刻机，尤其是一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置。

技术介绍

[0002]现有技术一般采用浸渍法和喷淋法来加工制造液晶显示器的玻璃基板，喷淋法是玻璃基板在蚀刻机内蚀刻，通过泵抽取药液，形成一定的喷淋压力对产品进行喷淋蚀刻，而蚀刻的过程中硝酸和醋酸还会随着蚀刻室的排气而挥发，因此，混酸溶液当中硝酸、磷酸和醋酸的浓度均会不断变化，蚀刻速度也随之变化，因此定时引取药液样品对当中的硝酸、磷酸和醋酸的含量进行滴定量测，并记录三酸浓度的波动值，通过浓度控制装置对所需单酸进行补充使酸浓度稳定。因玻璃基板在蚀刻室中进行蚀刻，为了平衡蚀刻室气流流场设置了排气管，但是现有排气管较大，排气量大，无法做到精细排气，使得药液中酸浓度的含量波动均在
±
10％至
±
5％之间，其波动范围较大，使得蚀刻产品的特性值稳定度不佳，且补充的单酸用量高。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题，在于提供了一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置，其结构简单，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液晶面板铝蚀刻机酸浓度稳定调节装置，其特征在于：包括一蚀刻室，其顶部连通设有粗排气管路和细排气管路，所述粗排气管路和所述细排气管路均连通一抽气管路，所述粗排气管路上设有第一调节阀，所述细排气管路上设有第二调节阀；一药液槽，通过喷洒管路连通所述蚀刻室，所述喷洒管路上设有一泵体，所述药液槽与所述蚀刻室之间设有一回流管路和一排气管路，所述排气管路上设有第三调节阀；两个单酸槽，分别通过补给管路与所述药液槽连接；一控制装置，包括取样检测装置和浓度控制装置，所述取样检测装置通...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟水金，温笑群，赵赞，吾继明，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：