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本实用新型公开了一种晶圆自动检测设备，所述晶圆位于陶瓷盘上，包括检测平台，所述检测平台上设置有定位块，所述定位块对陶瓷盘定位；顶升模组，所述顶升模组对定位块上的陶瓷盘进行顶升；检测传感器，所述检测传感器位于所述定位块上方，对晶圆进行检测；驱...
该专利属于苏州拓思半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州拓思半导体技术有限公司授权不得商用。

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