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本实用新型提供一种运动平台及半导体制造设备，涉及半导体技术领域。该运动平台包括底座、升降驱动件和旋转机构，旋转机构包括安装基座、旋转驱动件和旋转座，安装基座包括安装底板、内环筒体和外环筒体，旋转座包括顶板和环形支撑体，环形支撑体转动套接于内...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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