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本实用新型公开了一种硅片腐蚀用腐蚀花篮，包括镂空底座和手柄，所述镂空底座上以其中心点为原点径向均布有至少三组承载部，所述承载部包括至少两个承载件，所述承载件沿同一径向方向上自原点向外依次安装在所述镂空底座上，且自原点向外的方向上，所述承载件...
该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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