下载一种气流缓冲式洁净工作台的技术资料

文档序号:36629657

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本申请公开了一种气流缓冲式洁净工作台,所述工作台竖直方向由上到下包括风机模块、第一挡风板、第二挡风板、球形过滤网、支撑管、支撑板、匀风板、透风板和风机阵列模块。通过本申请中各缓冲间的缓冲,在各缓冲间之间形成了梯度压力差,减少了气流水平方向上...
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