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本实用新型公开了一种MEMS传感器测试设备,包括传感器和面板,所述面板上端设有多个定位壳,传感器的四个角插入定位壳中,面板顶面的中间处安装有橡胶层,橡胶层上设有多个矩形口,面板正对于矩形口处均设有通孔,通孔中均设有固定柱,固定柱的顶面上均设...该专利属于深圳市恩博传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市恩博传感科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种MEMS传感器测试设备,包括传感器和面板,所述面板上端设有多个定位壳,传感器的四个角插入定位壳中,面板顶面的中间处安装有橡胶层,橡胶层上设有多个矩形口,面板正对于矩形口处均设有通孔,通孔中均设有固定柱,固定柱的顶面上均设...