一种MEMS传感器测试设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS传感器测试设备，包括传感器和面板，所述面板上端设有多个定位壳，传感器的四个角插入定位壳中，面板顶面的中间处安装有橡胶层，橡胶层上设有多个矩形口，面板正对于矩形口处均设有通孔，通孔中均设有固定柱，固定柱的顶面上均设有凹槽，凹槽的开口中均设有接触柱。本实用新型专利技术结构简单，通过定位壳能对传感器进行四个角度，保证其位置的固定，接触柱自身具有缓冲功能，避免了直接撞击接触柱而造成的损坏，将接触柱代替表针，使得传感器上的接触片能与接触柱垂直的相对，并紧密的接触，避免了出现未对其的情况，保证测试的质量。保证测试的质量。保证测试的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS传感器测试设备


[0001]本技术涉及传感器
，具体涉及一种MEMS传感器测试设备。

技术介绍

[0002]MEMS传感器即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景，在传感器生产完毕后需要通过检测装置对其进行检查，以确保传感器均可使用。
[0003]现有技术中的测试设备一般为万用表，在使用时需要表针与传感器对应的接触片接触，以检测是否具有合格的电压、电阻等，但是这样的测试方式较为不便，容易出现表针打滑或者没有对准的情况，导致检测效率较低，并且在测试的过程中，容易出现传感器与测试设备接触不良的现象出现，导致测试结果不准确，影响产品质量。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是提供一种MEMS传感器测试设备，能对其进行四角定位，并且具有弹簧缓冲功能，下压后，能与对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS传感器测试设备，其特征在于：包括传感器(1)和面板(2)，所述面板(2)上端设有多个定位壳(3)，多个定位壳(3)呈矩形结构分布，传感器(1)的四个角插入定位壳(3)中，定位壳(3)的底面上均垂直安装有定位杆(6)，面板(2)正对于定位杆处均设有定位口，定位杆(6)下端均穿过定位口安装有限位块(7)，面板(2)顶面的中间处安装有橡胶层(9)，橡胶层(9)上设有多个矩形口(17)，面板(2)正对于矩形口处均设有通孔，通孔中均设有固定柱(14)，固定柱(14)上端均延伸至矩形口中，固定柱(14)的顶面上均设有凹槽，凹槽的开口中均设有接触柱(12)，接触柱(12)上端均穿过矩形口延伸至外界，凹槽的底面上均设有贯穿固定柱的轴孔，接触柱(12)的底面上均垂直安装有导电杆(16)，导电杆(16)下端均穿过轴孔延伸至外界，并均连接有导线(11)，导线(11)另一端均与万用表连接。2.根据权利要求1所述的MEMS传感器测试设备，其特征在于：定位杆(6)和定位口...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳春林，
申请(专利权)人：深圳市恩博传感科技有限公司，
类型：新型
国别省市：