下载一种具有侧壁保护的SAW器件的技术资料

文档序号:36620779

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本实用新型公开了一种具有侧壁保护的SAW器件,包括压电衬底和设于压电衬底上的IDT金属电极,IDT金属电极的侧壁设有保护层,所述保护层的宽度由上至下渐次变大,压电衬底、IDT金属电极和保护层形成的结构表面覆盖有介质层。本实用新型可有效解决因...
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