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本实用新型的一种湿法晶圆清洗用清洗液配比装置，属于液体配比技术领域，包括设备本体和隔板，隔板竖直固定设置在设备本体内，隔板将设备本体划分为两个独立的空腔，其中一个空腔内设有液体配置装置，另一个空腔内安装有喷淋装置，所述液体配置装置包括有主水...
该专利属于上海申和投资有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海申和投资有限公司授权不得商用。

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