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本发明提供一种观测对象气体的观测装置和观测方法、以及能够适当使用的试样支架，能够在分析室内独立地移动一体安装有薄板试样的试样支架。该观测装置具备：扫描型电子显微镜(15)，检测在分析室(11)内向试样(17)照射电子束而产生的二次电子；试样...
该专利属于国立研究开发法人物质所有，仅供学习研究参考，未经过国立研究开发法人物质授权不得商用。

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