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本发明提供一种氮化镓器件结构及其制备方法，氮化镓器件结构包括：氮化镓衬底，包括相对的第一面和第二面，氮化镓衬底中设置有自第二面朝第一面延伸的多个散热孔；功能层，设置于衬底第一面上；散热金属层，包括填充于散热孔内的多个导热金属柱以及设置于氮化...
该专利属于东莞市中器集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市中器集成电路有限公司授权不得商用。

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