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SiC半导体装置制造方法及图纸
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文档序号:36596207
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SiC半导体装置包括:SiC芯片,其具有主面,该主面包含第一面、在上述第一面外向厚度方向以第一深度凹陷的第二面、以及连接上述第一面及上述第二面的连接面,且由上述第一面、上述第二面以及上述连接面划分出台地;晶体管构造,其包含具有小于上述第一深...
该专利属于罗姆股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗姆股份有限公司授权不得商用。
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