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包括存储器单元串的存储器阵列和用于形成包括存储器单元串的存储器阵列的方法技术
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下载包括存储器单元串的存储器阵列和用于形成包括存储器单元串的存储器阵列的方法的技术资料
文档序号:36585664
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一种用于形成包括存储器单元串的存储器阵列的方法包括形成堆叠,所述堆叠包括竖直交替的第一层和第二层。所述堆叠包括横向间隔开的存储器块区。沟道材料串延伸穿过所述第一层和所述第二层。所述第一层的材料具有与所述第二层的材料不同的成分。导电材料形成于...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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