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披露了一种用于将气体混合物输送到硅晶片掺杂单元的设备，该设备包括：掺杂剂气体(1)源；载气(2)源；连接到该掺杂剂气体容器(1)和载气(2)源的混合装置(3)；第一流量调节构件(41)和第二流量调节构件(42)，用于调节流向混合装置(3)的...
该专利属于液化空气电子系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过液化空气电子系统公司授权不得商用。

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