温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开一种碳化硅单晶生长装料装置，涉及半导体生产设备技术领域，主要结构包括支撑平台、固定机构、加料机构、垂直压料机构、夹紧机构和震动机构；支撑平台用于支撑固定机构，固定机构内底部设置有用于盛放碳化硅原料的石墨坩埚；加料机构设置于固定...
该专利属于宁波合盛新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波合盛新材料有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。