下载掩膜板搬运装置的技术资料

文档序号:36568763

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本实用新型公开一种掩膜板搬运装置,其包括搬运主体和卡盘,搬运主体包括第一安装架、第一驱动件、第二驱动件和卡块,第一驱动件设置在第一安装架上,卡块与第一驱动件连接,第一驱动件能驱动卡块转动,第二驱动件与第一安装架连接,第二驱动件能驱动第一安装...
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