下载一种腔体内壁的光学检测系统的技术资料

文档序号:36561715

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本发明公开了一种腔体内壁的光学检测系统。腔体内壁的光学检测系统包括:沿物面到像面依次设置的反射模组和折射模组;反射模组包括反射镜;折射模组包括沿物面到像面一侧依次设置的物镜组和目镜组,物镜组包括具有负光焦度的第一透镜和具有正光焦度的第二透镜...
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