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本公开提出一种图案匹配装置，特别是即使在包含重复图案的半导体图案中，也能够实现将具有学习功能作为特征的匹配处理。本公开的图案匹配装置具备学习器，该学习器推定具有表示第一图像与第二图像之间的相关性的数值作为像素值的第一相关图像，所述图案匹配装...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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