下载电感器件及其形成方法的技术资料

文档序号:36547268

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本申请提供电感器件及其形成方法,所述电感器件包括:半导体衬底;电感线圈,位于所述半导体衬底上;至少两层保护环,所述至少两层保护环环绕于所述电感线圈在所述半导体衬底上的垂直投影的四周,其中,所述保护环包括若干分立的子保护环,相邻两层保护环的子...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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