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一种化合物半导体的离心晶体生长装置，属于半导体材料制备领域，所述装置包括离心电机、旋转主轴、固定在旋转主轴上的支撑杆、连接支撑杆的离心轮、设置在离心轮边缘内侧石墨坩埚，经籽晶杆驱动设置在旋转主轴的籽晶杆、设置在离心轮上下两侧的磁场发生器。采...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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