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本文公开了用于等离子体室中的流动优化器。流动优化器包含设置在被限定于等离子体室中的晶片支撑件与介电窗之间的环。流动优化器的环被配置成定位于晶片支撑件与介电窗之间，使得环的外缘邻近等离子体室的侧壁，且环的开口基本上对准晶片支撑件的直径。口基本...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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