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本实用新型提供了一种半导体设备压缩空气断气保护装置及半导体设备，涉及半导体设备的技术领域。半导体设备压缩空气断气保护装置包括气源和多个手动控制阀；气源通过供气管路与多个手动控制阀连接，且多个手动控制阀并联接入供气管路；手动控制阀背离供气管路...
该专利属于拓荆科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技(上海)有限公司授权不得商用。

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